R&DセンターRESEARCH & DEVELOPMENT

お客様のご要望に応える装置を、1台ごとに一緒になってお造りします

半導体用・液晶用の洗浄装置や検査装置、レーザーカッティング装置などの
設計・製作をおこない、ご満足いただける装置を提供いたします。

半導体用ウェーハスピン小型洗浄装置・エッチング装置の設計・製作/フィルム状部品のエッチング・洗浄装置の設計・製作/レーザーカッティング装置/液晶用検査装置/その他(自動機械全般の設計・製作)などを行なっています。

FACILITY設備紹介

R&Dセンター工場

R&Dセンター工場

R&Dセンター工場

工場床面積

1Fエリア
W20×D35m(700m²)
2Fエリア
W20×D30m(600m²)
※1Fの一部はクラス10000のクリーンブースを設置しています。

Fab2工場

Fab2工場

Fab2工場

設備

  • 2.8トン天井クレーン(2基)
  • クリーンルーム環境製造室(1室)

工場床面積

  • W80×D20×H8m(1600m²)
※幅5mまでの装置組み立てが可能です。

設計事務所

設計事務所

設備

メカ設計用
3D:iCAD・Inventer
2D:AutoCAD
※ベテランの設計スタッフが対応いたします。
エレキ設計用
AutoCAD or CAD
  • クリーンルーム

    クリーンルーム

    クラス1000/酸・アルカリ・有機廃液設備

  • 純水製造装置・窒素供給設備

    純水製造装置・窒素供給設備

PRODUCT製品紹介

オリジナル製品

  • 高濃度酸対応ウェーハスピン洗浄・エッチング装置

    高濃度酸対応ウェーハスピン洗浄・
    エッチング装置

    5・6・8・12インチウェーハ対応/4カップ、3ノズル薬液分離回収機構/マグネット駆動式ウェーハクランプ

  • 低濃度酸対応ウェーハスピン洗浄・エッチング装置

    低濃度酸対応ウェーハスピン洗浄・
    エッチング装置

    5・6・8・12インチウェーハ対応/2カップ、2ノズル薬液分離回収機構/薬液混合濃度調整機構/スカラ型Wハンドロボット搬送

  • ガラス基板洗浄装置

    ガラス基板洗浄装置

    小型のガラスからG10サイズのガラスの洗浄及び薬液処理まで様々なツールを使用した装置を提供します。コンベア搬送、スピン洗浄にも対応いたします。

  • フィルム洗浄・エッチング装置

    フィルム洗浄・エッチング装置

    原反より繰り出されるPETフィルムや金属箔の洗浄、薬液処理を行います。また、デモ機にて洗浄テストも承ります。

  • ミニマルファブインクジェット装置

    ミニマルファブ
    インクジェット装置

    ハーフインチサイズのウェーハへビットマップデータを基にレジストインクの塗布・描画を行う装置です。

特注製品

  • レーザーカッティング装置

    レーザーカッティング装置

    CO2レーザー発振器を使用した、直線部およびコーナー部での等速カッティングが可能な装置です。

  • 液晶検査装置

    液晶検査装置

    大型液晶ガラス基板のパターン検査装置

  • リッド搬送貼付装置

    リッド搬送貼付装置

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